工业高纯水设备可以将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率约10～18.3MΩ.cm极限值。超纯水,是一般纯水设备很难达到的程度，通常采用预处理、反渗透技术、高纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换(抛光)、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ.cm。

　　工业高纯水设备用途:超纯水水质分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

　　工业高纯水设备的应用领域

　　比较近几年电去离子在各个工业领域都越来越受重视，许多工业系统开始采用电去离子作为其水处理系统的更新换代技术，如电力工业、制药工业、微电子工业、电镀与金属表面处理等。

　　(1)电力工业

　　据推算电力行业水处理单元的操作费用约占电力成本的10%，而用电去离子替代离子交换树脂可以使每处理1000加仑水的成本由11美元降至1.75美元。

　　(2)制药工业

　　虽然药用水的特点是并不要求很高的去离子程度，但电去离子系统具有同时去盐和控制微生物指标的特点，因此已有多家企业采用RO/EDI集成系统。据称该类系统性能稳定，全流程计算机连续监控，全自动操作无人值守。

　　(3)电子工业

　　电子工业对水质的要求极高，水电阻率要稳定的大于18MΩ,而EDI出水一般在15-17MΩ左右，因此在电子级水的生产过程多采用EDI+抛光树脂系统，即在EDI之后加离子交换，此工程虽然仍需离子交换，但由于EDI已除去了大部分离子，抛光树脂几乎不用再生，因此水处理费用仍然很低。

　　(4)电镀与金属表面处理

　　电去离子可用于电镀废水处理可以使水重复使用并回收重金属离子。

　　(5)其他领域

　　电去离子在食品工业、化学工业等都有很广泛的应用：多室流化床、设备的横截面一般为矩形，用垂直挡板将设备沿长度方向分成多室(一般4～8室)。挡板下沿与分布板面之间留有几十毫米的间隙，作为室间粉粒通道。比较后一室有控制床面的堰板。流体平行进入各室，颗粒则依次通过各室，因此多室流化床不仅能抑制颗粒在整个床层内的返混，而且还能调节通入各室流体的流速和温度。多室流化床比多层流化床设备容易控制，总压降也小;但传热、传质推动力较多层床小，用于干燥时空气热量利用效率较差。 两器流化床 有两个流化床，在左侧流化。

　　工业高纯水设备工艺流程

　　1、采用离子交换方式，其流程如下：

　　原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点

　　2、采用两级反渗透方式，其流程如下：

　　原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

　　3、采用EDI方式，其流程如下：

　　原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

　　工业高纯水设备水质标准

　　出水水质完全符合我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。